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정전 플레이트의 구조가 개선된
점착고무식 척킹기구
전극구조
액상접합법 세라믹정전척
대면적 조합형 정전척
기판 흡착용 정전척
고무점착식 척킹기구
고무 탄성체 다이아프램 타입 정전척 및 그 제조방법
